[发明专利]形成氧化锌薄膜的设备和方法无效
| 申请号： | 200410003956.3 | 申请日： | 1999-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN1519396A | 公开（公告）日： | 2004-08-11 |
| 发明（设计）人： | 宫本祐介 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | C25D9/08 | 分类号： | C25D9/08 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 形成 氧化锌 薄膜 设备 方法 | ||
【说明书】：
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