[发明专利]一种用牺牲层材料做支撑梁的微机械开关无效
| 申请号： | 200410000698.3 | 申请日： | 2004-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN1558437A | 公开（公告）日： | 2004-12-29 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;雷啸锋;刘理天;李志坚 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01H49/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李光松 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 牺牲 材料 支撑 微机 开关 | ||
【说明书】：
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