[发明专利]传感器和电子装置

权利要求书

1、一种机电传感器(1)，用于将电输入信号转换成电输出信号，该传感器包括：

衬底(10)，

附着到衬底(10)的导电谐振元件(20)，谐振元件(20)沿具有长度(1)的纵向方向延伸，

导电致动器(30)，能够接收关于谐振元件的、用于引起谐振元件(20)弹性形变的电致动电势差，该致动电势差是输入信号的函数，该弹性形变包括长度(1)的变化(d1)，谐振元件(20)包括具有欧姆电阻的电阻器，该欧姆电阻是长度(1)的变化(d1)的函数，输出信号是该电阻的函数。

2、如权利要求1所述的传感器(1)，其中谐振元件(20)包括沿纵向方向具有第一长度的第一部分(201)，以及沿纵向方向具有第二长度的第二部分(202)，弹性形变包括被第一弹性力(F₁)抵抗的第一长度的变化，以及被第二弹性力(F₂)抵抗的第二长度的变化，在谐振元件(20)的无形变部分(203)第一弹性力(F₁)和第二弹性力(F₂)基本相互平衡(F₁+F₂≈0)，谐振元件(20)附着到包含在无形变部分(203)中的支撑区域(204)中的衬底(10)上。

3、如权利要求2所述的传感器(1)，其中支撑区域(204)包括第一谐振器接触(250)和第二谐振器接触(260)，第二谐振器接触(260)通过包含在谐振元件(20)中的导电通路电连接到第一谐振器接触(250)，该导电通路包括在无形变部分(203)外的点(P)。

4、如权利要求3所述的传感器(1)，其中谐振元件(20)具有在纵向方向上的外端，所述点(P)位于该外端。

5、如权利要求3所述的传感器(1)，其中谐振元件(20)包括构成导电通路的、具有第一电导率的第一材料，以及具有小于第一电导率的第二电导率的第二材料，从第一谐振器接触(250)到不包含点(P)的第二谐振器接触(260)的每条通路都包含所述第二材料。

6、如权利要求5所述的传感器(1)，其中第二材料包括电介质材料。

7、如权利要求1所述的传感器(1)，其中谐振元件(20，20a)包含在惠斯通型电路中，该惠斯通型电路包括第一接触区域(25) 和第二接触区域(26)，第一接触区域(25)通过第一连接并通过平行于第一连接设置的第二连接电连接到第二接触区域(26)，第一连接包括与第二谐振元件(20b)串联的谐振元件(20，20a)，第二连接包括与第四谐振元件(20d)串联的第三谐振元件(20c)，谐振元件(20a)和第二谐振元件(20b)通过包括测量点(28)的第一电连接器连接，且第三谐振元件(20c)和第四谐振元件(20d)通过包含参考点(29)的第二电连接器连接，输出信号包括测量点和参考点之间的电势差，第二谐振元件(20b)、第三谐振元件(20c)和第四谐振元件(20d)均基本与谐振元件(20a)相同。

8、如权利要求7所述的传感器(1)，其中：

谐振元件(20a)位于第一接触区域(25)和第二谐振元件(20b)之间，

第三谐振元件(20c)位于第二接触区域(26)和第四谐振元件(20d)之间，且

存在使第三谐振元件(2c)弹性形变的第二导电致动器(30c)。

9、如权利要求8所述的传感器(1)，其中：

存在用于使第二谐振元件(20b)弹性形变的第三导电致动器(30b)，以及

存在用于使第四谐振元件(20d)弹性形变的第四导电致动器(30d)  。

10、如权利要求1所述的传感器(1)，其中：

谐振元件(20)包括第一谐振元件(20e)和第二谐振元件(20f)，第一谐振元件(20e)和第二谐振元件(20f)通过耦合元件(16)机械地耦合，

致动器(30)能够引起第一谐振元件(20e)的弹性形变，

第二谐振元件(20f)构成具有欧姆电阻的电阻器，该欧姆电阻是第二谐振元件(20f)的长度(1’)的变化(d1’)的函数，输出信号是第二谐振元件的电阻的函数。

11、一种电子装置(50)，包括：

使用时钟信号工作的信号处理器(51)，以及

如权利要求1所述的、用于提供时钟信号的传感器(1)。