[发明专利]集成电路接触缺陷的测试方法和测试装置无效
| 申请号： | 200380102564.6 | 申请日： | 2003-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1714295A | 公开（公告）日： | 2005-12-28 |
| 发明（设计）人： | 理查德·约翰·佩曼 | 申请（专利权）人： | 艾罗弗莱克斯国际有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/04 | 分类号： | G01R31/04;G01R27/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 英国斯*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 集成电路 接触 缺陷 测试 方法 装置 | ||
【说明书】：
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