[发明专利]用于传感半导体处理系统中氟物质的设备和工艺无效
| 申请号： | 200380101667.0 | 申请日： | 2003-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN1705871A | 公开（公告）日： | 2005-12-07 |
| 发明（设计）人： | 弗兰克·迪梅奥;陈世辉;杰弗里·W·诺伊纳;詹姆士·韦尔奇;米谢勒·斯塔瓦咨;托马斯·H·鲍姆;麦肯齐·E·京;陈英欣;杰弗里·F·罗德 | 申请（专利权）人： | 高级技术材料公司 |
| 主分类号： | G01N9/00 | 分类号： | G01N9/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 林宇清;谢丽娜 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 传感 半导体 处理 系统 物质 设备 工艺 | ||
【权利要求书】：
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