[发明专利]用于缺陷定位的系统与方法无效
| 申请号: | 200380101404.X | 申请日: | 2003-10-03 | 
| 公开(公告)号: | CN1705889A | 公开(公告)日: | 2005-12-07 | 
| 发明(设计)人: | 吉雷德·阿尔莫盖;克里斯·塔尔博特;利奥·莱文 | 申请(专利权)人: | 应用材料以色列公司;应用材料股份有限公司 | 
| 主分类号: | G01R31/308 | 分类号: | G01R31/308 | 
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 任永武 | 
| 地址: | 以色列瑞*** | 国省代码: | 以色列;IL | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 缺陷 定位 系统 方法 | ||
【权利要求书】:
                
            
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