[实用新型]带缓冲室膜玻璃生产磁控溅射设备无效
| 申请号： | 200320110406.2 | 申请日： | 2003-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN2716281Y | 公开（公告）日： | 2005-08-10 |
| 发明（设计）人： | 沈琪 | 申请（专利权）人： | 沈琪 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213179江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 缓冲 玻璃 生产 磁控溅射 设备 | ||
【权利要求书】：
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