[发明专利]激光诱导下的氮化镓P型欧姆接触制备方法无效
申请号: | 200310121092.0 | 申请日: | 2003-12-24 |
公开(公告)号: | CN1554575A | 公开(公告)日: | 2004-12-15 |
发明(设计)人: | 陈朝;田洪涛 | 申请(专利权)人: | 厦门大学 |
主分类号: | C01B21/06 | 分类号: | C01B21/06 |
代理公司: | 厦门南强之路专利事务所 | 代理人: | 马应森 |
地址: | 361005福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 诱导 氮化 欧姆 接触 制备 方法 | ||
【权利要求书】:
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