[发明专利]X射线光刻对准标记无效
| 申请号： | 200310120546.2 | 申请日： | 2003-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN1627190A | 公开（公告）日： | 2005-06-15 |
| 发明（设计）人： | 王德强;谢常青;叶甜春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 射线 光刻 对准 标记 | ||
【说明书】：
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