[发明专利]一种在陶瓷衬底上沉积大晶粒多晶硅薄膜的方法在审
| 申请号： | 200310117094.2 | 申请日： | 2003-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN1546740A | 公开（公告）日： | 2004-11-17 |
| 发明（设计）人： | 黄勇;李海峰;张厚兴;万之坚;张立明;马天 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C30B25/00 | 分类号： | C30B25/00;C23C16/24;H01L21/365 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李光松 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 衬底 沉积 晶粒 多晶 薄膜 方法 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200310117094.2/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：含水性湿砂造型脱模剂
- 下一篇：检测氯霉素的免疫胶体金试剂及制备方法
