[发明专利]多晶硅的定向生长方法无效
| 申请号： | 200310115895.5 | 申请日： | 2003-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN1546744A | 公开（公告）日： | 2004-11-17 |
| 发明（设计）人： | 廖燕平;邵喜斌;邝俊峰;荆海;付国柱;骆文生;郜峰利;缪国庆 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | C30B28/00 | 分类号： | C30B28/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李恩庆 |
| 地址： | 130031吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 定向 生长 方法 | ||
【说明书】：
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