[发明专利]等离子体源离子注入内表面改性的装置无效
| 申请号： | 200310113092.6 | 申请日： | 2003-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN100368590C | 公开（公告）日： | 2005-07-06 |
| 发明（设计）人： | 杨思泽;张谷令;王久丽;刘元富 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 离子 注入 表面 改性 装置 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院物理研究所，未经中国科学院物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200310113092.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
