[发明专利]制造掺杂高挥发性异物的硅单晶的方法有效
| 申请号： | 200310104772.1 | 申请日： | 2003-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN1498988A | 公开（公告）日： | 2004-05-26 |
| 发明（设计）人： | 马丁·韦伯;彼得·维尔茨曼;埃里希·格迈尔鲍尔;罗伯特·沃尔布希纳 | 申请（专利权）人： | 瓦克硅电子股份公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制造 掺杂 挥发性 异物 硅单晶 方法 | ||
【说明书】：
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