[发明专利]平面基板的微细图形缺陷修正方法和修正装置无效
| 申请号： | 200310103675.0 | 申请日： | 2003-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN1523631A | 公开（公告）日： | 2004-08-25 |
| 发明（设计）人： | 矢田雄司;清水茂夫;德永宽哲;藤川芳夫 | 申请（专利权）人： | NTN株式会社 |
| 主分类号： | H01J9/50 | 分类号： | H01J9/50 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 谢喜堂 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平面 微细 图形 缺陷 修正 方法 装置 | ||
【说明书】：
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