[发明专利]石英玻璃与熔硅的反应性及熔硅表面处的振动的评估工艺有效
| 申请号： | 200310102907.0 | 申请日： | 2003-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN1497071A | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | 岸弘史;神田稔;福井正德 | 申请（专利权）人： | 日本超精石英株式会社 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B15/22 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 章社杲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 反应 表面 振动 评估 工艺 | ||
【权利要求书】：
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