[发明专利]电化学处理槽无效
| 申请号： | 03820055.4 | 申请日： | 2003-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN1678770A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | M·X·杨;D·卢博米尔斯基;Y·N·多尔迪;S·辛格;S·塔尔施百格瓦勒;N·科瓦斯基 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D7/12;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电化学 处理 | ||
【说明书】：
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