[发明专利]用于调整带电的法拉第屏蔽上的电压的方法有效
| 申请号： | 03818433.8 | 申请日： | 2003-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN1672237A | 公开（公告）日： | 2005-09-21 |
| 发明（设计）人： | S·P·罗霍卡尔;A·库蒂;A·D·拜利三世 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘红;梁永 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 调整 带电 法拉第 屏蔽 电压 方法 | ||
【说明书】：
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