[发明专利]磁等离子体控制电容耦合等离子体反应器无效
| 申请号： | 03816804.9 | 申请日： | 2003-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN1669108A | 公开（公告）日： | 2005-09-14 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·J·后曼;马修·L·米勒;杨姜久;蔡希晔;麦可·巴尼斯;石川哲也;叶洋 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 控制 电容 耦合 反应器 | ||
【权利要求书】：
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