[发明专利]等离子休辅助掺杂无效
| 申请号： | 03810271.4 | 申请日： | 2003-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN1653161A | 公开（公告）日： | 2005-08-10 |
| 发明（设计）人： | S·库马尔;D·库马尔 | 申请（专利权）人： | 达纳公司 |
| 主分类号： | C10G15/00 | 分类号： | C10G15/00;C10G11/02;C23F1/02;C09K11/07;H01L21/306;H01L21/84;B05D5/12;B05D3/06 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 杨晓光;于静 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子 辅助 掺杂 | ||
【权利要求书】：
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