[发明专利]法拉第屏蔽和等离子体晶片处理无效
| 申请号： | 03808953.X | 申请日： | 2003-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN1647238A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·布尔克卡 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡洪贵 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 法拉第 屏蔽 等离子体 晶片 处理 | ||
【权利要求书】：
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