[发明专利]等离子清洗附有机物质的材料表面的方法和实现该方法的装置有效
| 申请号： | 03804156.1 | 申请日： | 2003-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN1997773A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 埃里克·西尔伯贝格;埃里克·米歇尔;弗朗索瓦·雷尼耶;克洛丹·比斯－埃尔曼 | 申请（专利权）人： | 于西纳公司 |
| 主分类号： | C23G5/00 | 分类号： | C23G5/00;B08B7/00;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 余全平 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子 清洗 有机 物质 材料 表面 方法 实现 装置 | ||
【说明书】：
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