[发明专利]使用液体进行微球分布的方法、微球分布设备和半导体器件无效
| 申请号： | 03802143.9 | 申请日： | 2003-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN1615542A | 公开（公告）日： | 2005-05-11 |
| 发明（设计）人： | 栌山一郎;久保雅洋;北城荣;二上和彦;石塚新一;南光进;安间仁志;山田敏司;片平明夫 | 申请（专利权）人： | 日本电气株式会社;日本EM株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/60 | 分类号： | H01L21/60;H05K3/34;B23K3/06 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 穆德骏;陆弋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 液体 进行 分布 方法 设备 半导体器件 | ||
【权利要求书】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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