[实用新型]一种气体质流控制器的转换装置无效
| 申请号： | 03248957.9 | 申请日： | 2003-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN2665770Y | 公开（公告）日： | 2004-12-22 |
| 发明（设计）人： | 童拱照 | 申请（专利权）人： | 亚泰半导体设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 体质 控制器 转换 装置 | ||
【权利要求书】：
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