[发明专利]器件检验有效
| 申请号： | 03164841.X | 申请日： | 2003-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN1534271A | 公开（公告）日： | 2004-10-06 |
| 发明（设计）人： | A·J·德博伊夫;F·博内布罗伊克;H·A·J·克拉梅;M·杜沙;R·J·F·范哈伦;A·G·M·基尔斯;J·L·克鲁泽;M·范德沙尔;P·J·范维南;E·C·莫斯;P·W·H·贾格;H·范德拉安;P·F·利尔曼恩 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G02B5/18;G03F9/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 章社杲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 搜索关键词： | 器件 检验 | ||
【权利要求书】：
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