[发明专利]微电子机械系统薄膜横向断裂强度的热驱动在线测试结构无效
| 申请号： | 03158330.X | 申请日： | 2003-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN1527043A | 公开（公告）日： | 2004-09-08 |
| 发明（设计）人： | 梅年松;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N3/00 | 分类号： | G01N3/00;G01N3/08;G01N35/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 沈廉 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微电子 机械 系统 薄膜 横向 断裂强度 驱动 在线 测试 结构 | ||
【权利要求书】：
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