[发明专利]薄膜晶体管及薄膜晶体管的制造方法无效
| 申请号： | 03147703.8 | 申请日： | 2003-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN1469492A | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | 铃木浩司 | 申请（专利权）人： | 三洋电机株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L21/461 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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