[发明专利]微机电系统（MEMS）可变光衰减器无效
| 申请号： | 03146519.6 | 申请日： | 2003-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN1512254A | 公开（公告）日： | 2004-07-14 |
| 发明（设计）人： | 洪允植;尹湘基;洪硕基;李玲揆;郑成天;李浈铉 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/19 | 分类号： | G02F1/19;G02B6/26;H04B10/12 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 谢丽娜;谷惠敏 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机 系统 mems 可变 衰减器 | ||
【说明书】：
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