[发明专利]用于照射敏化基片的曝光装置无效
| 申请号： | 03124136.0 | 申请日： | 2003-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN1456904A | 公开（公告）日： | 2003-11-19 |
| 发明（设计）人： | 梁荣光;D·凯斯勒 | 申请（专利权）人： | 伊斯曼柯达公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02B27/10;G02B27/28;G02F1/1337 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳,梁永 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 照射 敏化基片 曝光 装置 | ||
【说明书】：
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