[发明专利]利用机器人分划板末端执行器来输送和加装分划板所用的方法和装置有效
| 申请号： | 03101059.8 | 申请日： | 2003-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN1433940A | 公开（公告）日： | 2003-08-06 |
| 发明（设计）人： | 格伦·M·弗莱德曼;彼得·克切尔斯伯格;约瑟夫·拉根扎 | 申请（专利权）人： | ASML美国公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;B65G47/88;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张祖昌 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 利用 机器人 分划板 末端 执行 输送 加装分划板 所用 方法 装置 | ||
【说明书】：
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