[发明专利]采用直写纳米刻蚀印刷的固态部件的图案化无效
| 申请号： | 02827280.3 | 申请日： | 2002-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN1615457A | 公开（公告）日： | 2005-05-11 |
| 发明（设计）人： | 查德·A·米尔金;维纳亚克·P·德拉维德;苏明;刘晓刚 | 申请（专利权）人： | 西北大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82B3/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 臧建明;经志强 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 采用 纳米 刻蚀 印刷 固态 部件 图案 | ||
【说明书】：
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