[发明专利]基板清洁装置有效
| 申请号： | 02824823.6 | 申请日： | 2002-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN1602652A | 公开（公告）日： | 2005-03-30 |
| 发明（设计）人： | 甲贺裕 | 申请（专利权）人： | 统一科技株式会社 |
| 主分类号： | H05K3/26 | 分类号： | H05K3/26 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 何腾云 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 搜索关键词： | 清洁 装置 | ||
【说明书】：
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