[发明专利]抑制电弧放电的对应等离子体喷头RF顶电极调谐的MERIE等离子体反应器有效
| 申请号： | 02824112.6 | 申请日： | 2002-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN1599946A | 公开（公告）日： | 2005-03-23 |
| 发明（设计）人： | D·J·霍夫曼;Y·叶;D·凯兹;D·A·小布赫贝格尔;X·赵;K－L·姜;R·B·哈根;M·L·米勒 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抑制 电弧 放电 对应 等离子体 喷头 rf 电极 调谐 merie 反应器 | ||
【权利要求书】：
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