[发明专利]高纯度科氏质量流量控制器有效
| 申请号： | 02823416.2 | 申请日： | 2002-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN1701291A | 公开（公告）日： | 2005-11-23 |
| 发明（设计）人： | 韦斯利E·森德;丹尼尔P·麦克纳尔蒂;蒂莫西W·斯科特;马修G·惠勒;杰弗里L·怀特利;约瑟夫C·迪尔;迈克尔J·巴杰;加里E·帕拉斯 | 申请（专利权）人： | 美国艾默生电气公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;G01F1/84 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 周备麟;杨松龄 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纯度 质量 流量 控制器 | ||
【说明书】：
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