[发明专利]在综合处理系统中用于等离子搀杂和离子注入的方法和装置无效
| 申请号： | 02823322.0 | 申请日： | 2002-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN1592944A | 公开（公告）日： | 2005-03-09 |
| 发明（设计）人： | 史蒂文·R·沃尔特 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备联合公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 综合 处理 系统 用于 等离子 搀杂 离子 注入 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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