[发明专利]电解抛光组件以及对导电层执行电解抛光的方法有效
| 申请号： | 02822586.4 | 申请日： | 2002-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN1585835A | 公开（公告）日： | 2005-02-23 |
| 发明（设计）人： | 王晖;易培豪;穆哈默德·阿夫南;沃哈·努;费利克斯·古特曼 | 申请（专利权）人： | ACM研究公司 |
| 主分类号： | C25B9/00 | 分类号： | C25B9/00;C25D7/12;C25D17/00;C25F3/30;C25F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王宪模 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电解 抛光 组件 以及 导电 执行 方法 | ||
【说明书】：
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