[发明专利]用来形成光记录媒体保护膜的溅射靶和该靶的制造方法以及用该靶形成保护膜的光记录媒体有效
| 申请号： | 02821603.2 | 申请日： | 2002-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN1578850A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 矢作政隆;高见英生 | 申请（专利权）人： | 株式会社日矿材料 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;G11B7/24;G11B7/26 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 樊卫民;郭国清 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用来 形成 记录 媒体 保护膜 溅射 制造 方法 以及 | ||
【说明书】：
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