[发明专利]光学元件及其制作方法以及光刻设备和半导体器件的制造方法无效
| 申请号： | 02819611.2 | 申请日： | 2002-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN1565035A | 公开（公告）日： | 2005-01-12 |
| 发明（设计）人： | 安德烈·E·雅克辛;埃里克·路易斯;弗雷德里克·比约克;马可·维多斯克;罗曼·克莱因;弗兰克·斯戴特兹 | 申请（专利权）人： | 卡尔赛斯半导体制造技术股份公司 |
| 主分类号： | G21K1/06 | 分类号： | G21K1/06;G02B1/10 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 元件 及其 制作方法 以及 光刻 设备 半导体器件 制造 方法 | ||
【说明书】：
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