[发明专利]半导体装置及其制造方法无效
| 申请号： | 02818359.2 | 申请日： | 2002-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1557022A | 公开（公告）日： | 2004-12-22 |
| 发明（设计）人： | 都鹿野健一;齐藤芳彦;上月繁雄;碓氷康典;泉泽优;河野孝弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/78 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 付建军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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