[发明专利]具有高介电常数栅极绝缘层和与衬底形成肖特基接触的源极和漏极的晶体管无效
| 申请号: | 02817910.2 | 申请日: | 2002-08-09 |
| 公开(公告)号: | CN1555579A | 公开(公告)日: | 2004-12-15 |
| 发明(设计)人: | J·P·斯尼德尔;J·M·拉森 | 申请(专利权)人: | 斯平内克半导体股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 包于俊 |
| 地址: | 美国明*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 具有 介电常数 栅极 绝缘 衬底 形成 肖特基 接触 晶体管 | ||
【说明书】:
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