[发明专利]改进的集成电路老化方法和设备无效
| 申请号： | 02817208.6 | 申请日： | 2002-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN1610835A | 公开（公告）日： | 2005-04-27 |
| 发明（设计）人： | D·普伦;R·卡克普罗维茨 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | G01R31/316 | 分类号： | G01R31/316;G01R31/28;G01R31/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;王忠忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 改进 集成电路 老化 方法 设备 | ||
【权利要求书】：
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