[发明专利]利用激光束和掩模制造抛光垫的方法有效
| 申请号： | 02817163.2 | 申请日： | 2002-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN1549756A | 公开（公告）日： | 2004-11-24 |
| 发明（设计）人： | 朴仁河;权太庆;金载晰 | 申请（专利权）人： | 株式会社SKC |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 周承泽 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 利用 激光束 制造 抛光 方法 | ||
【说明书】：
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