[发明专利]用于双栅极逻辑器件的中间制品无效
| 申请号： | 02811854.5 | 申请日： | 2002-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN1516902A | 公开（公告）日： | 2004-07-28 |
| 发明（设计）人： | 古川俊治;马克·黑凯;史蒂文·霍尔姆斯;戴维·霍雷克;威廉·马 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L29/49 | 分类号： | H01L29/49;H01L21/28;H01L29/786 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒;魏晓刚 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 栅极 逻辑 器件 中间 制品 | ||
【权利要求书】：
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