[发明专利]用于微型平板印刷术的多环含氟聚合物及光刻胶无效
申请号: | 02807763.6 | 申请日: | 2002-03-27 |
公开(公告)号: | CN1500099A | 公开(公告)日: | 2004-05-26 |
发明(设计)人: | A·E·费林;F·L·沙德特三世 | 申请(专利权)人: | 纳幕尔杜邦公司 |
主分类号: | C08F232/08 | 分类号: | C08F232/08;G03F7/039;G03F7/004 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 邰红;马崇德 |
地址: | 美国特拉华*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 微型 平板 印刷术 多环含氟 聚合物 光刻 | ||
【说明书】:
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