[发明专利]圆柱形磁控管靶及将该靶附接到可旋转轴组件的设备无效
| 申请号： | 02805127.0 | 申请日： | 2002-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN1491295A | 公开（公告）日： | 2004-04-21 |
| 发明（设计）人： | 大卫·马克·林恩;梅尔文·玛丽昂·克拉克森 | 申请（专利权）人： | 大卫·马克·林恩;梅尔文·玛丽昂·克拉克森 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 张天舒;顾红霞 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 圆柱形 磁控管靶 接到 旋转轴 组件 设备 | ||
【说明书】：
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