[发明专利]等离子体装置及等离子体生成方法无效
| 申请号： | 02803904.1 | 申请日： | 2002-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN1537406A | 公开（公告）日： | 2004-10-13 |
| 发明（设计）人： | 安藤真;高桥応明;石井信雄 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社;安藤真;高桥応明 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/3065;H01L21/205;C23C16/505 |
| 代理公司： | 北京东方亿思专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陆锦华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 装置 生成 方法 | ||
【说明书】：
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