[实用新型]单晶炉的多管式结构无效
申请号: | 02206661.6 | 申请日: | 2002-02-27 |
公开(公告)号: | CN2528782Y | 公开(公告)日: | 2003-01-01 |
发明(设计)人: | 白玉珂 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉 多管式 结构 | ||
1、一种单晶炉的多管式结构,其特征在于,包括:
一炉子内壁,为圆筒状,上下两端为贯通;
一反应杯托架,为圆柱形,该反应杯托架的纵向开有多个概呈梯形的圆孔,该梯形的圆孔的底端为封闭状;
一反应杯,为薄的透明体,其形状与反应杯托架上的梯形的圆孔相同并容置在其内;
一升降轴,一端为杯状,另一端为一轴体,杯状的一端容置有反应杯托架的一端;
多个坩埚,概呈梯形,该坩埚外部的形状与反应杯托架上开有的概呈梯形的圆孔相似,其长度短于梯形的圆孔,其直径小于梯形的圆孔,且该坩埚容置在反应杯托架上开有的概呈梯形的圆孔内的反应杯内。
2、根据权利要求1所述的单晶炉的多管式结构,其特征在于,其中反应杯托架上开有的概呈梯形的圆孔的数量为3个。
3、根据权利要求1所述的单晶炉的多管式结构,其特征在于,其中反应杯托架上开有的概呈梯形的圆孔的数量为4个。
4、根据权利要求1所述的单晶炉的多管式结构,其特征在于,其中反应杯托架的底端开有一细长的热偶孔。
5、根据权利要求1所述的单晶炉的多管式结构,其特征在于,其中坩埚的数量与反应杯托架上开有的概呈梯形的圆孔的数量相同。
6、根据权利要求1所述的单晶炉的多管式结构,其特征在于,其中在反应杯托架上的梯形的圆孔上盖有一塞帽。
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