[实用新型]一种四氯化硅氢化生产三氯氢硅的装置无效
| 申请号： | 02201590.6 | 申请日： | 2002-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN2547719Y | 公开（公告）日： | 2003-04-30 |
| 发明（设计）人： | 沈祖祥;毋克力;严大洲;刘建军;汤传斌 | 申请（专利权）人： | 中国有色工程设计研究总院 |
| 主分类号： | C01B33/08 | 分类号： | C01B33/08;C01B33/107;C01B33/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 10003*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氯化 氢化 生产 三氯氢硅 装置 | ||
【说明书】：
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