[发明专利]自组成纳米级界面结构及其应用无效
| 申请号： | 02160282.4 | 申请日： | 2002-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN1514487A | 公开（公告）日： | 2004-07-21 |
| 发明（设计）人： | 卢荣宏;张怀禄;陈烔雄;黄依苹;廖圣茹;周裕福;潘浩然 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H01L23/00 | 分类号： | H01L23/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高龙鑫;楼仙英 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 组成 纳米 界面 结构 及其 应用 | ||
【权利要求书】：
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