[发明专利]用于生产有机发光装置的热物理蒸汽沉积源无效
| 申请号： | 02154810.2 | 申请日： | 2002-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1422976A | 公开（公告）日： | 2003-06-11 |
| 发明（设计）人： | S·A·范斯莱基;R·G·施潘 | 申请（专利权）人： | 伊斯曼柯达公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;H05B33/14;H05B33/20;H01L51/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 苏娟,黄力行 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 生产 有机 发光 装置 物理 蒸汽 沉积 | ||
【说明书】：
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