[发明专利]双灯泡型曝光装置有效
| 申请号： | 02154556.1 | 申请日： | 2002-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1416020A | 公开（公告）日： | 2003-05-07 |
| 发明（设计）人： | 朱愿暾;车相焕;金明官 | 申请（专利权）人： | LG电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 杨梧,马高平 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 灯泡 曝光 装置 | ||
【说明书】：
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